近日，我校智能微系统实验室取得新成果，五篇论文获传感器和传感技术领域的顶级学术会议IEEE SENSORS 2025 录用。IEEE Conference on Sensors 由IEEE传感器委员会（IEEE Sensors Council）主办，是该领域最为权威、水平最高的国际盛会，是我校认定的学科顶级学术会议。

图1 会议主题

本届IEEE SENSORS会议上，北京信息科技大学智能微系统实验室共有5篇论文入选，研究团队以本实验室培养的博士、硕士研究生为中坚力量，成果涵盖Wearable Sensors and Systems，Chemical, Electrochemical and Gas Sensors，Emerging Sensor Technologies and Applications等多个专题，相关内容如下：

论文一：Femtosecond Laser Induced Graphene/MoS₂ Flexible Pressure Sensors for Human–Robot Kinematic Detection

论文概述：

针对传统刚性传感器在共形集成和持续形变场景下的性能局限，创新将 MoS2 纳米材料引入 PI 前驱体并采用飞秒激光直写，制备出高灵敏柔性压力传感器，显著提升共形集成与形变场景下的检测性能。传感器灵敏度达 31.11 kPa⁻¹（为纯 LIG 传感器的 7.28 倍），响应时间仅 12.75 ms，4000 次循环测试仍稳定，可精准检测面部表情、关节转动及机器人关节活动，为智能人机交互、可穿戴医疗提供关键技术支撑。

论文作者：

Fan Wu, Misheng Liang*, Chaoqi Zhang, Yingjie Chen, Haibo Xu, Rui You*

图2 飞秒激光加工及人体运动检测应用示意

论文二：Laser-induced graphene-based flexible array gas sensors for multi-gas detection

论文概述：

突破了传统刚性气体传感器共形受限及单一检测的难题，提出分区掺杂与一步激光直写相结合的方法，制备四种三维多孔 LIG 复合气敏材料，实现柔性多气体并行检测。传感器对目标气体兼具高灵敏度与高选择性，为多组分气体并行识别提供新路径，在柔性气敏及多模态传感领域可扩展性强。

论文作者：

Chaoqi Zhang, Shijie Yu*, Fan Wu, Misheng Liang, Xiaomeng Bian,Rui You*

图3 激光加工分区掺杂柔性膜及多气体传感性能检测

论文三：Study on Terahertz Conductivity Sensing Based on Laser-Induced Diamond Carbonization

论文概述：

针对半导体器件材料结构与电学特性精准表征的关键问题，创新性结合飞秒激光诱导金刚石表面石墨化与超表面太赫兹传感技术，实现超薄石墨层电导率的非接触高效检测。通过仿真与实验证实，谐振频率对电导率变化灵敏度极高，且检测过程不破坏样品结构，为高性能半导体器件检测提供新方法。

论文作者：

Xun Zhao, Rui You*, Xiaomeng Bian, Yiling Lian, Ji Huang*, Misheng Liang*

图4 飞秒激光诱导金刚石碳化及电导率检测

论文四：Flexible Piezoresistive Sensor Based on Laser-Induced Composite Graphene

论文概述：

解决传统 LIG 传感器因固有缺陷、导电性有限导致的性能瓶颈，在 PI 膜中引入含铜前驱体，单步激光刻写同步生成石墨烯并原位还原铜纳米颗粒，提升材料导电性与稳定性。传感器在 0-100 kPa 内线性响应，0-40 kPa 灵敏度达 0.0067 kPa⁻¹，经 2000 次循环测试信号稳定，可检测气流与关节运动，在可穿戴监测领域潜力显著。

论文作者：

Yimeng Jiang, Misheng Liang*, Xiaomeng Bian, Ruige Su, Bo Wang*,Rui You*

图5 飞秒激光加工流程及压力传感性能检测

论文五：Low-Temperature H2S Sensing Enabled by Catalytically-Activated Au@SnO2 Core-Shell Nanospheres

论文概述：

突破传统金属氧化物半导体传感器需高温（≥200°C）工作的局限，设计 Au@SnO₂球形核壳结构传感器，利用金核催化活性与多孔二氧化锡壳层协同效应实现低温传感。传感器在 50°C 下对 H₂S 检测限低至 50 ppb，响应值（Rₐ/Rg）达 359，长期稳定性优异（35 天响应保持 91%），为低功耗 H₂S 检测提供新策略，可应用于环境监测、医疗诊断。

论文作者：

Ying Li, Xiangyang Wei*, Jingyuan Ma, and Rui You*

图6 球形Au@SnO2核壳结构形貌图及传感器性能测试结果

本次光电学院多篇论文入选仪器学科国际顶会标志着学校学科建设中创新研究的国际影响力获得显著提升，同时也反映出学校在高层次人才培养、深化科研体制机制改革方面取得的创新成效。未来，学院将继续为师生创造更优越的科研环境，助力更多原创性、突破性成果的涌现。（供稿/图片：光电学院 编辑/审核：郭辉）

智能微系统实验室简介：

“北京信息科技大学智能微系统实验室”依托启元国家实验室智能微系统技术研究中心、国家微纳制造创新中心、集成电路高精尖创新中心等高水平平台共建设立，团队聚焦服务深空、深蓝国家重大战略需求与民生医疗、国民经济主战场，以复合型创新人才培养为中心，以北京高精尖产业为牵引，以成果应用转化为目的，创新多学科交叉融合机制，形成了我校“产学研”一体化的优秀高水平科研平台。实验室覆盖微纳加工、光电测试表征、空间环境测试等关键技术能力，并与清华大学、北京航空航天大学、华中科技大学、北京理工大学、天津大学、吉林大学及中科院微电子所、长春光机所等知名高校与科研机构建立长期稳定科研合作关系，为科研创新与人才培养提供了坚实保障，实现科研与育人双向发展。